作为专业的设备喷涂及内衬服务商，我们为半导体行业提供喷涂、内衬解决方案，驰耐特的技术团队拥有超过多年的喷涂及内衬加工经验，我们的千级和万级厂房是专为半导体级电子化学品及聚合物生产设备制造所规划的，并且还特别加强了环境污染源的控制。加工成品满足化学品的运输储存纯度要求、反应纯度要求、保证了介质的储存及反应的稳定性，实现了较低的金属杂质析出。

• 耐腐蚀
• 超高纯
• 不粘
• 防静电
• 低摩擦

• 混合
• 过滤
• 干燥
• 移动槽车
• 储槽
• 半导体转运清洗件
• 塔器
• 吸附树脂柱

针对半导体加工所需设备及配件的喷涂工艺，例如反应釜、制备罐、过滤器、石英材质升降机械手等，我们可以提供PFA、ECTFE(F30, halar)、PVDF等多种材料的喷涂加工，喷涂层纯度级别可达到G2~G5,并且我们拥有自己的千级半导体喷涂车间，可满足各类设备的生产

喷涂具体应用

光刻胶反应釜
采用高纯洁净度PFA涂层，最高纯度总金杂1PPb以内，金杂0.2PPb。我司专门研究用半导体导电PFA，电阻率10的负5次方至10的负9次方，纯度在10PP至1PPb。

PI(即:半导体级聚酰亚胺)反应釜
高纯洁净度PFA涂层用于半导体级聚酰亚胺聚合物反应釜设备，最高纯度总金杂1PPb以内，金杂0.2PPb.

晶圆搬运机械手
高洁净度涂层可防止晶圆遭受金属离子的污染。还可针对陶瓷基材进行涂覆施工。此外，还有抗静电涂装产品。

双面精密研磨抛机
双面精密研磨抛机主要应用于半导体衬底、电晶体、精密光学等行业，高纯洁净度PFA涂层喷涂在研磨抛光机核心部件表面，达到耐腐蚀和高纯洁净功能，又更好的避免含金杂的物料和产品直接接触，高纯PFA涂层对于强酸强碱及有机溶剂都具有很优越的耐受性。

石英制升降机械手
可保护石英等基材免受氢氟酸等的影响:并且涂层具有优异的疏水/疏油性，可最大幅度地减少对清洗液的污染。耐低温-180℃至260℃。

晶圆抛光设备

电子级产品反应釜（高纯PFA喷涂）

光刻胶反应釜（高纯PFA喷涂）

PFA喷涂（PI专用设备）

搅拌釜（高纯PFA喷涂）

千级洁净车间喷涂

针对半导体加工所需设备的内衬工艺，例如移动槽车、立式/卧式储罐、过滤器等，我们可以提供PFA、ECTFE、PVDF等多种材料的喷涂加工，喷涂层纯度级别可达到G3~G5,并且我们拥有自己的万级半导体内衬车间，可满足各类设备的生产。

内衬具体应用

内衬New-PTFE（电子级氢氟酸储罐）

电子级化学品储罐（内衬PTFE）

电子级三氟化氮反应槽（内衬PFA）

内衬高纯N-PTFE(移动槽车)

电子级盐酸成品罐（内衬GBK-N-PTFE）

滤芯式过滤器（内衬电子级PFA）

内衬PFA(高温电镀槽)