半导体反应釜设备(混合设备)
高纯 PFA 喷涂层在光刻胶产业链以及 PI 反应生产中,有着非常重要的作用,例如在光刻胶聚合反应釜、配胶釜、混配釜等核心设备和产品接触部位都要有高纯 PFA 涂层,能够保证高纯洁净度和耐腐蚀性能,高纯 PFA 涂层金属杂质可以控制在 1 个 PPb 以内。
经过客户专业清洗装备清洁后,纯度会进一步提高,喷涂最大尺寸10m³(如果批量比较大,我们可以定制更大的烤炉),薄涂厚度范围30μm至 100μm,厚涂厚度范围300μm至1000μm,涂层颜色:常用米黄色和黑色,不常用白色和灰色;还有高纯防静电 PFA(电阻率在 105~109 Ω ) 。
大小烤炉 7 台,月生产产能 1200 平方
常见问题解读
反应设备刚开始使用时纯度不达标的主要问题有哪方面?
- 第一:因搅拌机封在釜内清洗干净后冲氮气无法保压,可能在运输过程中外部空气进入釜内所导致;
- 第二:客户现场清洗的方法不正确;
- 第三:排查一下管道阀门,液位计等与釜联的部件是否有纯度不达标;
- 第四:所有管口是否完全达到密封状态;
- 第五:喷涂时环境是达到静态千级,动态万级;
- 第六:涂层是否有漏点针孔缺陷,导致金属物从基材析出;
- 第七:所喷涂的高纯PFA转运过程中被污染;
- 第八:固化过程中涂层没有完全固化和很充分的结晶,导致涂层不致密,有小微孔等等。
涂层表面有色差,是否影响质量?
- 涂层色差有很多原因导致,主要有烧结温度均匀度不好、喷涂厚度均匀度差、喷涂后有焊条局部修补、炉子及喷涂环境有喷涂不同颜色粉末未及时清洁干净导致2种粉末互相污染等等原因。
防静电涂层可以做到和不导电PFA一样的纯度吗?
- 完全可以做到和高纯不导电PFA一样的纯度,防静电PFA内添加了特殊高纯导电材料,常期使用过程中也能保持很稳定的性能,不但又高纯、又防静电,而且耐腐蚀性能优越。
安装过程中如果有磕碰是否可以修补?
- 现场可以修补,但现场一定是在很高纯洁净的环境,现场不是洁净环境可能会有二次污染涂层的风险。
高纯PFA原料里主要成份?
- 高纯PFA原理经过特殊工艺提纯而来,所有主要成份为氟材料,不含任何金属杂质。
半导体设备图纸
我们的非金属密封解决方案的特点
由于在越来越多的精细化工生产中制造的反应器需耐强腐蚀及高纯度要求,因此需要的反应器经常需喷涂要求,此外对应的密封装置也需要满足耐强腐蚀及高纯度要求。针对这些要求我们推出了自己的密封装置。
其特点:非金属 防腐蚀 零污染 高纯度 不接触 不升温 寿命长 易维护 不受转速影响
- 与物料接触部位为非金属材质,且与釜体内喷涂材质保持一致。
- 运行过程中动环和静环不接触,因此不会产生粉尘污染及温度。
- 完全符合数字化生产需要,系统可远传,可接入DCS控制系统。
- 可根据现场需要选择带轴承结构也可选择不带轴承结构
- 此种结构可提供全面的防污染解决方案。
这是一种非接触式干气密封装置,密封端面之间存在几微米到十微米的稳定间隙。密封是一种旋转式外平衡型,采用干气密封作为搅拌器上部密封,在清洁度方面具有巨大优势,例如干式接触密封不磨损,湿式双机械密封不易被液体污染。近年来,我们在“干气密封”领域取得了更多成就,这种干气密封结合了喷涂或衬四氟罐体,不使用金属离子浸出。