树脂柱,俗称层吸柱,又称树脂吸附柱,在半导体行业中,主要用于超纯化学品的制备和纯化,还有电子级聚合物,例如:去除光刻胶、蚀刻液 CMP 浆料中的金属离子、阴离子和颗粒物杂质。
根据纯度要求不同,如电子化学品类的可选用高纯 PFA 内衬(纯度可达 G3,G4,G5),NEW-PTFE内衬(纯度可达 G3,G4,G5) ,PTFE 内衬(纯度可达 G3) ,内衬厚度 2~4mm。
半导体聚合物过滤后既要考虑到筒体内壁没有物料残留,又要考虑高纯洁净以及耐腐蚀性能,所以选用高纯 PFA 喷涂层,该涂层成型后没有接缝,整体平滑,光亮,无死角,优于内衬工艺。
高纯 PFA 涂层金属杂质可以控制在 1 个 PPb 以内,更高纯度要求下可以做到 0.1 个 PPb。
喷涂最大尺寸 10m³(如果批量比较大,我们可以定制更大的烤炉),厚涂厚度范围 300μm 至1000μm,涂层颜色:常用米黄色和黑色。
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